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EFEM／ウェハエッジ検査機
形式型番：00000000000
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特徴

・300mmウェーハ対応FOUP OPENER
・デュアルアームロボット＆アライナー機能
・スムーズな速度制御とスマートな動作
・SECS／GEM通信
・SEMI規格準拠

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