・キャリアをセットでエッチング、洗浄、リンスと自動搬送
・洗浄、リンス槽に温純水を自動排水、供給可能
・レシピ変更もパネルより一括変更可能
・温度制御により低音析出薬液も使用可能

・各メーカFOUP／FOSBに対して、オープン／クローズ可能
・全てのプロセス装置にインストール可能
・OPENERのドア オープン／クローズ時ダブルマッピング
・全てモーター駆動によるなめらかな最適動作
・SEMI規格に完全準拠

・アライメント位置記憶（ティーチング）機能
・アライメント位置２点設定
・キャリア歪みの影響を受けない構造。
・アライメント精度とローラー寿命の両立

・ＳＥＣＳ／ＧＥＭ　通信機能
・ウェーハID読み取り機能
・ウェーハの分割、統合、並び替え機能

・ワーク袋詰め作業の省力化・効率化
・タッチパネルからの操作で設定もワンタッチ
・コンパクト設計でメンテナンスも容易

・ウェーハの高速回転による乾燥装置
・タッチパネルから回転数、回転時間のレシピ変更が可能
・ULPAフィルタを配置し大量自然吸気によるエコ乾燥
・温風機追加により熱風乾燥も可能

・300mmウェーハ対応FOUP OPENER
・デュアルアームロボット＆アライナー機能
・スムーズな速度制御とスマートな動作
・SECS／GEM通信
・SEMI規格準拠

・ＳＥＣＳ／ＧＥＭ　通信機能
・分割・統合処理
・並び替え機能

・モーターの加減速制御により、接触時の発塵を防止
・V溝形状で端面だけでのハンドリング
・ウェーハ持上げ時、トランスファー時の過負荷検出
・全ウェーハを一括移載で高スループットを実現。