・各メーカFOUP／FOSBに対して、オープン／クローズ可能
・全てのプロセス装置にインストール可能
・OPENERのドア オープン／クローズ時ダブルマッピング
・全てモーター駆動によるなめらかな最適動作
・SEMI規格に完全準拠