◎ 開発実績 |
更新日 2009年 3月10日
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<部品製造ライン> ![]() |
No. |
装 置 |
概 要 |
専門技術 |
構成 |
実績 |
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11 |
300mmウエーハ ロードポート |
Foupの開閉装置 |
Semiスタンダードに 準拠した構造 |
・DCモータ ・ステッピングモータ ・マイコン制御 |
80台 2002年 |
10 |
キャリア L/UL |
洗浄機へのWF用キャリア のロードアンロードユニット |
対薬品材料 及び機構 |
・ACサーボモータ ・ユアシリンダ ・シーケンサ |
2台 1999年 |
9 |
スピンコータ オープンユニット |
液晶に液を垂しウエハを回転する装置と コーティング後のベーキング装置 |
液塗布とワーク 回転機構 耐熱材料及び機構 |
・ACサーボモータ ・ステッピングモータ ・シーケンサ |
3台 1999年 |
8 |
スクラバー洗浄機 ブラッシ洗浄機 スクラバー |
研磨後のWFをブラッシ洗浄する機械 |
・水処理 ・ブラシ材質、形状 ・表面乾燥 |
・ACサーボモータ ・シーケンサ |
1台 1998年 |
7 |
ロット自動供給、回収装置 |
設備へキャリアを自動供給、回収する ストック処理装置 |
・ロボット技術 ・X、Y、Z制御 |
・パルスモーター ・C言語 |
70台 1996年 |
6 |
バッチ式移し換え機 |
キャリア内のウエーハを櫛葉状のリフトアームで 持ち上げて、保持しキャリアからキャリアへ移しかえる |
・パルスモーター制御 |
・8ビット ・アセンブラ |
150台 1995年 |
5 |
オリフラ合わせ機 |
ローラー2本もって、WFのノッチ及び オリフラの位置を整列する |
・パルスモーター制御 |
・8ビット ・アセンブラ |
200台 ※ 1994年 |
4 |
アクセレラレータ | クライオポンプの制御ボックス |
・インバータ トランス制御 |
CPUなし |
30台 1994年 |
3 |
通信制御システム | 設備のオンライン化 | 通信データ変換制御 |
・CPU8085 ・アセンブラ |
1システム 1991年 |
2 |
その他 (システム・装置) |
オゾン式殺菌機 水晶発振子移載機 プリペイドカード社員食堂システム セキュリティ監視制御システム コインボックス IPルータ セキュリティボックス 自動面測定器 コードストリッパ 自動スポット溶接機 プリント基板検査装置 電子部品製造ライン |
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1 |
その他 (ソフトウエア) |
自動放送システム 天気予報デジタル録音システム 製品検査測定器制御ソフトウエア 生産ライン省力化設備ソフトウエア 紙幣識別装置制御 NCマシンデータ送信アプリケーション 交通管制システム ビジネスコードレステレホンファームウエア TCP/IP実装ファームウエア 伝送帳票アプリケーション 画像処理アプリケーション EDP運用メンテナンス パルスモーターコントローラー バーコードプリンタ制御 入出庫システムアプリケーション 伝送制御エミュレータ タスクスケジューラ サーボモータオートステージ制御 生産管理システム 受発注管理システム ウエハ搬送制御 メッセージカードシステム 小型バーコードプリンタ管理システム オートラベラー制御 部品検査用アプリケーション |