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(梱包支援機)

＜ 仕様概要 ＞

特長 ウエーハを満載した重いキャリヤを自動で持上げ・保持します。 体力に自信のない女性でも、楽々と包装作業を行えます。 ティーチングにより自在に位置指定可能。（標準仕様 縦横個別 ９点） キャリアの移動速度を移動点毎に設定可能。 微妙に形状の異なる複数のキャリアに対応可能です。 その他、お客様の要求に合わせてカスタマイズが可能。

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(特殊オープナー)　※仮称

＜ 仕様概要 ＞

特長 特殊形状のキャリヤ開閉をスイッチ操作により自動で行います。 信頼性の向上のため、ＰＬＤ化されたモータ制御。 お客様の要求に合わせてカスタマイズが可能。

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(計数包装機)

＜ 仕様概要 ＞

特長 製品ワークのパッケージングをサポート。 確実そして綺麗な仕上がり。 レシピ選択により、幅の異なるビニールを簡単に段取りできます。 その他、お客様の要求に合わせてカスタマイズが可能。

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GM-H600
(強力オゾン脱臭機)

＜ 仕様概要 ＞

特長 グリーンメイトＨ６００は、ホテル・旅館専用の強力オゾン脱臭機です。 お部屋内に残ったタバコ臭やトイレ臭を高濃度のオゾンガスにより脱臭し、処理後の自動オゾン分解 運転により安全な酸素に戻します。

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Ma-Hand
(300mm アライナ搭載 ウェハ エッジクランプ ハンド)

＜ 仕様概要 ＞

特長 ３００ｍｍウェハのエッジのみクランプでノッチアライメントが出来ます。 別置きアライナは必要ありませんのでコンパクトで安価なＥＦＥＭが構築できます。 クランプと同時にアライメントしますので超高スループットです。 アライメント時間は従来品の１／３です。 ハンドに駆動モーター、ドライバー、制御基盤を搭載し、ロボットに即取付け可能です。 超コンパクト、超軽量設計です 。

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D-Trans
(バッチ式ウェーハ移し換え機)

＜ 概要 ＞

特長 ハンドリング時、モータを加減速制御し、ショックを最小として発塵を防止します。 ウェーハ保持部はＶ溝形状としウェーハの端面だけをハンドリングします。 ウェーハ持上げ時の過負荷監視、トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護します 全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載します。 モデル Ｄ−Ｔｒａｎｓ８ Ｄ−Ｔｒａｎｓ６ Ｄ−Ｔｒａｎｓ５

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D-Align
(ノッチ／オリフラ合わせ機)

＜ 概要 ＞

特長 アライメント位置記憶（ティーチング）機能 アライメント位置2点設定 キャリア歪みの影響を受ません アライメント精度とローラー寿命の両立 モデル D-Align5/6 D-Align8 D-Align8N D-Align4/5 D-Align3

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D-Buffer
(キャリア自動供給回収装置)

＜ 仕様概要 ＞

特長 キャリアの連続供給による製造装置の連続運転を可能とします。 キャリア保管時クリーンユニットにより無塵状態を保ちます 自走式のため製造装置への取付変更が容易に行なえます。 パソコンを搭載することにより製造装置へのレシピ通信が可能となります。 異なる製造装置でも同一のオペレーションによるキャリア供給回収が可能となります。 ＳＥＣＳ，ＨＳＭＳ（製造装置／ホスト・コンピュータ）

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e-SET 300
(300 mm FOUP OPENER)

＜ 仕様概要 ＞

特長 全てのメーカーのＦＯＵＰに対して、オープン／クローズ可能 全てのプロセス装置にインストール可能 ＯＰＥＮＥＲ初のドア　オープン／クローズ時ダブルＷｆマッピングが可能 全てモータ駆動による滑らかな最適動作を実現 人間工学に準拠した　グット　デザイン ＳＥＭＩ規格に完全準拠

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e-FRIEND 300
(300 mm WAFER MINI-ENVIRONMENT SYSTEM)

< specification >

特長 参考ユニット製作品 お客様の要求に合わせてカスタマイズが必要です。

<dynamics>